上海劢珑科技请求一种压电MEMS悬臂梁式传感器专利进步传感器的输出灵敏度、作业频率规模

　　金融界2024年11月26日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海劢珑科技有限公司请求一项名为“一种压电MEMS悬臂梁式传感器”的专利，公开号CN 119018840 A，请求日期为2024年8月。

　　专利摘要显现，本请求供给一种压电MEMS悬臂梁式传感器，触及微机电技术领域，包含固定端和衔接于固定端的悬臂梁,悬臂梁和固定端之间设置衔接层，悬臂梁包含层叠的结构层、至少两层电极层，相邻电极层之间设置压电层,结构层内构成中性面,中性面不受拉应力也不受压应力，接近中性面的电极层的刚度大于远离中性面的电极层的刚度，和/或，接近中性面的电极层的厚度大于远离中性面的电极层的厚度。离中性面近的电极层挑选刚度大、厚度厚的薄膜资料可增加悬臂梁的刚度，进步悬臂梁的作业频率规模；离中性面远的电极层挑选刚度小、更薄的薄膜资料能增大对应电极层外表的应力，增大δ2‑δ1，增大输出灵敏度；一起进步传感器的输出灵敏度、作业频率规模。